研究発表等の成果普及活動 - 岡田　竜弥

Metal Source/Drain Structure TFTs using poly-Si Crystallized by Blue Multi-Laser Diode Annealing

T. Okada, and T. Noguchi

19th International Thin-Film Transistor Conference (Nara, Japan, March 24 - 26, 2025)  2025年03月  -  2025年03月   

ポリイミド上にArスパッタ成膜したInSb薄膜のRTA結晶化

比嘉 辰志, 奥 翔太, 野口 隆，梶原 隆司, 佐道 泰造, 岡田 竜弥

第72回応用物理学会春季学術講演会 (東京理科大学野田キャンパス&オンライン, 2025年3月14-17日) p.11_244 [17a-K103-11].  2025年03月  -  2025年03月   

Neを用いてスパッタ成膜したガラス上InSb膜のRTA結晶化における膜厚効果

奥 翔太, 比嘉 辰志, 野口 隆，梶原 隆司, 佐道 泰造, 岡田 竜弥

第72回応用物理学会春季学術講演会 (東京理科大学野田キャンパス&オンライン, 2025年3月14-17日) p.11_243 [17a-K103-10].  2025年03月  -  2025年03月   

NeによりRFスパッタ成膜したInSb薄膜のRTA結晶化に与えるSiO2キャップ膜の影響

奥 翔太, 岡田 竜弥

令和6年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2024年12月14日) pp.24-26 [OKI-2024-06].  2024年12月  -  2024年12月   

青色ダイレクトダイオードレーザを用いたCVD製膜a-Si 膜の結晶化

岡田 竜弥, 野口 隆, 菱田 光起, 宮野 謙太郎,小畑 直彦, 信岡 政樹

第85回応用物理学会秋季学術講演会 (朱鷺メッセほか2会場 & オンライン, 2024年9月16-20日) p.12_025 [16p-B1-4].  2024年09月  -  2024年09月   

Possibility of advanced BLDA of lumped CW scanning for low-cost LTPS using WBC (Wavelength Beam Combiner) technique

T. Noguchi, T. Okada, M. Hishida, N. Kobata, K. Miyano, and M. Nobuoka

The 24th International Meeting on Information Display (ICC, Jeju Island, Korea, August 20-23, 2024)  2024年08月  -  2024年08月   

Neを用いてスパッタ成膜したガラス上InSb膜のRTA結晶化における膜厚効果

上間 亮ノ佑, 奥 翔太, 野口 隆，梶原 隆司, 佐道 泰造, 岡田 竜弥

第71回応用物理学会春季学術講演会 (東京都市大学 世田谷キャンパス&オンライン, 2024年3月22-25日) p.12_127 [23p-12K-15].  2024年03月  -  2024年03月   

青色ダイレクトダイオードレーザを用いたスパッタ製膜a-Si 膜の結晶化(その4)

岡田 竜弥, 野口 隆, 菱田 光起, 宮野 謙太郎,小畑 直彦, 信岡 政樹

第84回応用物理学会秋季学術講演会 (熊本城ホールほか3会場, 2023年9月19-23日) p.12_010 [19a-A301-9].  2023年09月  -  2023年09月   

Crystallization by Rapid Thermal Annealing of Ne Sputtered InSb Films Deposited on Glass

T. Okada, O. Shimoda, C. J. Koswaththage, T. Kajiwara, T. Sadoh, and T. Noguchi

The 23rd International Meeting on Information Display (BEXCO, Busan, Korea, August 22-25, 2023)  2023年08月  -  2023年08月   

青色ダイレクトダイオードレーザを用いたスパッタ製膜a-Si膜の結晶化(その3)

岡田 竜弥, 野口 隆, 菱田 光起, 宮野 謙太郎, 小畑 直彦, 信岡 政樹

第70回応用物理学会春季学術講演会 (上智大学 四ッ谷キャンパス+オンライン, 2023年3月15-18日).  2023年03月  -  2023年03月   

急速熱処理法によるInSb薄膜/ガラス基板の高品位形成

梶原 隆司，岡田 竜弥，チャリット ジャヤナダ コスワッタゲー, 野口 隆, 佐道 泰造

第70回応用物理学会春季学術講演会 (上智大学 四ッ谷キャンパス+オンライン, 2023年3月15-18日).  2023年03月  -  2023年03月   

Crystallization of a-Si Films deposited by RF Sputtering using Blue Direct Diode Laser

M. Hishida, N. Kobata, K. Miyano, M. Nobuoka, T. Okada, and T. Noguchi

Photonics West 2023 (San Francisco, California, US, January 28 - February 2, 2023) [12409-44].  2023年01月  -  2023年02月   

Formation of High-Mobility InSb Films on Glass by Sputtering and Rapid-Thermal Annealing

Takashi Kajiwara, Otokichi Shimoda, Tatsuya Okada, Charith Jayanada Koswaththage, Takashi Noguchi, and Taizoh Sadoh

International Conference on Solid State Devices and Materials (Makuhari Messe, Chiba, Japan, September 26-29, 2022) pp.105-106 [B-5-05].  2022年09月  -  2022年09月   

デバイスシミュレータを用いたTi ソース/ドレイン構造poly-Si TFT の特性評価

澤間 佑葵, 岡田 竜弥

第69回応用物理学会春季学術講演会 (青山学院大学+オンライン, 2022年3月22-26日) p.12_206 [24p-E103-13].  2022年03月  -  2022年03月   

青色ダイレクトダイオードレーザを用いたスパッタ製膜a-Si 膜の結晶化(その2)

菱田 光起, 宮野 謙太郎,小畑 直彦, 信岡 政樹, 野口 隆, 岡田 竜弥

第69回応用物理学会春季学術講演会 (青山学院大学+オンライン, 2022年3月22-26日) p.12-207 [24p-E103-14].  2022年03月  -  2022年03月   

Neを用いてガラス上にスパッタ堆積したInSb膜のRTAによる結晶化

霜田 音吉，C. J. コスワッタゲー, 野口 隆，梶原 隆司，佐道 泰造, 岡田 竜弥

第69回応用物理学会春季学術講演会 (青山学院大学+オンライン, 2022年3月22-26日) p.12_208 [24p-E103-15].  2022年03月  -  2022年03月   

デバイスシミュレータを用いた金属ソース/ドレイン構造poly-Si TFTの特性評価

澤間 佑葵, 岡田 竜弥

令和3年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学(Zoom), 2021年12月11日) [OKI-2021-07].  (琉球大学)  2021年12月  -  2021年12月   

急速熱処理法によるInSb薄膜/ガラス基板の結晶成長

梶原 隆司, 霜田 音吉, 岡田 竜弥, チャリット ジャヤナダ コスワッタゲー, 野口 隆, 佐道 泰造

第82回応用物理学会秋季学術講演会 (名城大学(オンライン開催), 2021年9月10-13日) p.12_043 [10p-N302-11].  2021年09月  -  2021年09月   

青色ダイレクトダイオードレーザを用いたスパッタ製膜a-Si 膜の結晶化

岡田 竜弥, 野口 隆, 菱田 光起, 宮野 謙太郎,小畑 直彦, 信岡 政樹

第82回応用物理学会秋季学術講演会 (名城大学(オンライン開催), 2021年9月10-13日) p.12_033 [10p-N302-3].  2021年09月  -  2021年09月   

Crystallization of SiN Capped InSb Films on Glass by Rapid Thermal Annealing

O. Shimoda, Y. Sawama, C. J. Koswaththage, T. Noguchi, T. Kajiwara, T. Sadoh, and T. Okada

The 21st International Meeting on Information Display (COEX, Seoul, Korea (ON/OFF-LINE Hybrid Event), August 25-27, 2021) p.396 [P5-40].  2021年08月  -  2021年08月