研究発表等の成果普及活動 - 岡田　竜弥

ELA(Excimer Laser Annealing)によるPolyimide上a-Si薄膜の結晶化機構

中面 僚介, 伊敷 優哉, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成30年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2018年12月8日) [OKI-2018-43].  (琉球大学)  2018年12月  -  2018年12月   

Solution Based Al2O3 Gate Insulator for Low Temperature Poly Silicon TFT

H.C. Yang, S.H. Hwang, Y.J. Baek, S.M. Lee, T. Okada, T. Noguchi, and B.S. Bae

American International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science (Cancun, Mexico, September 30 - Octover 4, 2018) [1228].  (Cancun, Mexico)  2018年09月  -  2018年10月   

Advanced Crystallization using Blue Laser-Diode Annealing for Low Temperature Poly Si TFTs

T. Noguchi, and T. Okada

American International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science (Cancun, Mexico, September 30 - Octover 4, 2018) [1197].  (Cancun, Mexico)  2018年09月  -  2018年10月   

青色半導体レーザにより結晶化したpoly-Si膜を用いた金属S/D構造TFT

岡田 竜弥, 伊敷 優哉, 野口 隆

第79回応用物理学会秋季学術講演会 (名古屋国際会議場, 2018年9月18-21日)  (名古屋国際会議場)  2018年09月  -  2018年09月   

Effective Laser Crystallization

T. Noguchi, Y. Ishiki, T. Okada, T. Morimura, A. Ota, and Y. Nishikata

The 18th International Meeting on Information Display (BEXCO, Busan, Korea, August 28-31, 2018) p.59 [G15-3]  (BEXCO, Busan, Korea)  2018年08月  -  2018年08月   

High Mobility Poly-Si TFT Formed on Flexible Polyimide using Low Temperature Process

F. Gakiya, D. Tokieda, Y. Ishiki, T. Okada, T. Noguchi, and T. Okuyama

The 18th International Meeting on Information Display (BEXCO, Busan, Korea, August 28-31, 2018) p.323 [P1-67]  (BEXCO, Busan, Korea)  2018年08月  -  2018年08月   

Photo-sensors using poly-Si Thin Films Crystallized by BLDA for System on Panel Application

T. Okada, T. Higashizako, C. J. Koswaththage, T. Noguchi, T. Morimura, O. Nishikata, and A. Ota

The 18th International Meeting on Information Display (BEXCO, Busan, Korea, August 28-31, 2018) p.248 [G63-3]  (BEXCO, Busan, Korea)  2018年08月  -  2018年08月   

Photo-sensors using poly-Si Thin Films Crystallized by BLDA for System on Panel Application

K. Lee, K. Shimai, W. Choi, T. Okada, T. Noguchi

The 18th International Meeting on Information Display (BEXCO, Busan, Korea, August 28-31, 2018)  (BEXCO, Busan, Korea)  2018年08月  -  2018年08月   

Crystallization of Si film on PolyCarbonate for Low-Cost LTPS TFT formed below 200℃

Y. Ishiki, F. Gakiya, T. Okada, T. Noguchi, and N. Kawamoto

The 18th International Meeting on Information Display (BEXCO, Busan, Korea, August 28-31, 2018) p.60 [G15-4]  (BEXCO, Busan, Korea)  2018年08月  -  2018年08月   

結晶化したガラス上InSb膜のキャッピング効果

コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ, 東迫 達行, 岡田 竜弥, 野口 隆, 田中 宏怜, 古田 守

第65回応用物理学会春季学術講演会 (早稲田大学西早稲田キャンパス, 2018年3月17-20日) p.12_117 [17p-C101-2].  2018年03月  -  2018年03月   

青色半導体レーザアニール(BLDA)による脱水素処理をしないシリコン薄膜への低温結晶化

野口 隆, 我喜屋 風太, 伊敷 優哉, 岡田 竜弥, 森村 太郎, 太田 淳, 西方 靖

第65回応用物理学会春季学術講演会 (早稲田大学西早稲田キャンパス, 2018年3月17-20日) p.12_120 [17p-C101-5].  2018年03月  -  2018年03月   

Poly-Crystallization of Semiconductor Thin-Films for Functional TFT System on Panel

T. Noguchi, C. J. Koswaththage, and T. Okada

14th International Thin-Film Transistor Conference (Guangzhou, China, February 28 - March 2, 2018)  2018年02月  -  2018年03月   

Electron Hall Mobility of Ne and Ar Sputtered InSb films for Advanced Sensor Applications on Glass

C. J. Koswaththage, T. Higashizako, T. Okada, T. Noguchi, H. Tanaka, and M. Furuta

14th International Thin-Film Transistor Conference (Guangzhou, China, February 28 - March 2, 2018)  2018年02月  -  2018年03月   

Thermal Analysis of Si Films on Polyimide Sheet during ELA

T. Okada, Y. Mashiyama, and T. Noguchi

14th International Thin-Film Transistor Conference (Guangzhou, China, February 28 - March 2, 2018)  2018年02月  -  2018年03月   

RTAを施したSi薄膜の固相結晶化

杉山 寿斗, Koswaththage Charith Jayanada, 東迫 達行, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成29年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2017年12月10日) [OKI-2017-38].  2017年12月  -  2017年12月   

TFTのソース・ドレイン領域形成のための塗布法によるSi薄膜の電気的活性化

石井 洸一, 我喜屋 風太, 東迫 達行, 伊敷 優哉, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成29年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2017年12月10日) [OKI-2017-49]  2017年12月  -  2017年12月   

ガラス上に堆積させたCVD Si膜のレーザー結晶化

伊敷 優哉, 我喜屋 風太, 東迫 達行, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成29年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2017年12月10日) [OKI-2017-47].  2017年12月  -  2017年12月   

フレキシブル基板PI（Polyimide）上のa-Si薄膜の結晶化の温度解析

増山裕貴, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成29年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2017年12月10日) [OKI-2017-46].  2017年12月  -  2017年12月   

TFTのソース・ドレイン領域形成を目指したPドープSi膜のFA後の結晶性・活性化評価

澤入 慶, 我喜屋 風太, 東迫 達行, 伊敷 優哉, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成29年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2017年12月10日) [OKI-2017-39].  2017年12月  -  2017年12月   

Reduction of leakage current for poly-Si TFTs with metal source/drain by dual gate structure

F. Gakiya, T. Harada, Y. Ishiki, T. Okada and T. Noguchi

Proc. of the 24th International Display Workshops (Sendai International Center, December 6-8, 2017) pp.447-449 [AMDp2-1].  2017年12月  -  2017年12月