研究発表等の成果普及活動 - 岡田　竜弥

絶縁基板上Si薄膜の結晶化における課題

野口 隆, 岡田 竜弥

シリコン材料・デバイス研究会 (沖縄青年会館, 2021年4月23-24日) pp.13-14 [SDM2021-3].  2021年04月  -  2021年04月   

SiNキャッピングしたガラス上InSb膜のRTAによる結晶化

阪本 弦太, 島袋 明香, 野口 隆, 岡田 竜弥

第68回応用物理学会春季学術講演会 (オンライン開催, 2021年3月16-19日) p.12_175 [18p-Z24-8].  2021年03月  -  2021年03月   

SiNキャッピングしたガラス上InSb薄膜のRTAによる結晶化

阪本 弦太, 島袋 明香, 野口 隆, 岡田 竜弥

令和2年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2020年12月12日) [OKI-2020-30].  2020年12月  -  2020年12月   

Issues and the Improvement to the Crystallization of a-Si Films for LTPS TFTs on Arbitrary Panels

T. Noguchi, and T. Okada

The 20th International Meeting on Information Display (Online Conference, August 25-28, 2020) p.120 [05_1583].  2020年08月  -  2020年08月   

一括ELAによるPC基板上a-Si薄膜の結晶化シミュレーション解析

中面 僚介, 時枝 大祐, 阪本 弦太, 岡田 竜弥, 野口 隆

第67回応用物理学会春季学術講演会 (上智大学, 2020年3月12-15日) p.11_367 [15p-A305-2].  2020年03月  -  2020年03月   

パネル上a-Si薄膜の結晶化における課題(2)

野口 隆, 岡田 竜弥

第67回応用物理学会春季学術講演会 (上智大学, 2020年3月12-15日) p.11_366[15p-A305-1].  2020年03月  -  2020年03月   

パネル上a-Si 薄膜の結晶化における課題

野口 隆, 岡田 竜弥

第80回応用物理学会秋季学術講演会 (北海道大学, 2019年9月18-21日) [18a-E304-7].  2019年09月  -  2019年09月   

Study of Leakage Current for Poly-Silicon Thin-Film Transistors with Metal-Source/Drain contact by BLDA

K. Lee, K. Shimai, W. Choi, T. Okada, and T. Noguchi

The 19th International Meeting on Information Display (HICO, Gyeongju, Korea, August 27-30, 2019) p.342 [P02-57].  (HICO, Gyeongju, Korea)  2019年08月  -  2019年08月   

Effect of 4% H2 Annealing to Poly-Si TFTs on Polyimide

D. Tokieda, Y. Ishiki, T. Okada, T. Noguchi, and T. Okuyama

The 19th International Meeting on Information Display (HICO, Gyeongju, Korea, August 27-30, 2019) p.327 [P02-42].  (HICO, Gyeongju, Korea)  2019年08月  -  2019年08月   

Attractive Crystallization of Semiconductor Films

T. Noguchi, T. Okada, and C. J. Koswaththage

The 19th International Meeting on Information Display (HICO, Gyeongju, Korea, August 27-30, 2019) p.226 [B20-3].  (HICO, Gyeongju, Korea)  2019年08月  -  2019年08月   

Metal Source/Drain Structure TFTs using poly-Si Crystallized by Blue Multi-Laser Diode Annealing

T. Okada, and T. Noguchi

15th International Thin-Film Transistor Conference (Okinawa, Japan, February 28 - March 2, 2019) pp.54-55 [3H2-inv].  (Okinawa, Japan)  2019年02月  -  2019年03月   

Lumped ELA with long pulse duration for Si film on panel

R. Nakatsura, Y. Ishiki, T. Okada, T. Noguchi, T. Morimura, A. Ota, O. Nishikata, and J. Kiyota

15th International Thin-Film Transistor Conference (Okinawa, Japan, February 28 - March 2, 2019) pp.82-83 [ST2-2].  (Okinawa, Japan)  2019年02月  -  2019年03月   

Crystallization of Si films sputtered by Ne or Xe gas on PC using ELA

Y. Ishiki, T. Okada, T. Noguchi, and N. Kawamoto

15th International Thin-Film Transistor Conference (Okinawa, Japan, February 28 - March 2, 2019) pp.80-81 [ST2-1].  (Okinawa, Japan)  2019年02月  -  2019年03月   

Proposal of Stable Laser Crystallization of Si Film for Flexible Panel

R. Nakatsura, Y. Ishiki, T. Okada, and T. Noguchi

25th International Display Workshops (Nagoya Congress Center, December 12-14, 2018) pp.413-414 [AMDp2-15L].  (Nagoya Congress Center)  2018年12月  -  2018年12月   

Analysis of CMOS Inverters on AC Operation Formed by Low Temperature Poly-Silicon TFTs with Metal Source-Drain Using BLDA

K. Lee, K. Shimai, W. Choi, T. Okada, T. Noguchi

25th International Display Workshops (Nagoya Congress Center, December 12-14, 2018) pp.371-374 [AMDp2-2].  (Nagoya Congress Center)  2018年12月  -  2018年12月   

低温PE-CVD膜を用いたPoly-Si TFTの実現

時枝 大祐, 伊敷 優哉, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成30年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2018年12月8日) [OKI-2018-42].  (琉球大学)  2018年12月  -  2018年12月   

金属誘起結晶法(MIC法)によるガラス上P-dope-Si膜の低温結晶化と低抵抗化

阪本 弦太, 西原 正太郎, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成30年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2018年12月8日) [OKI-2018-50].  (琉球大学)  2018年12月  -  2018年12月   

Auを使用したMIC(Metal Induced Crystallization)法によるガラス上Si 薄膜の低温結晶化

西原 正太郎, 阪本 弦太, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成30年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2018年12月8日) [OKI-2018-46].  (琉球大学)  2018年12月  -  2018年12月   

ガラス上にスパッタ製膜したInSb膜の熱効果による高移動度追求

永井 大地, 伊敷 優哉, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成30年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2018年12月8日) [OKI-2018-45].  (琉球大学)  2018年12月  -  2018年12月   

ZnS-SiO2薄膜を用いたフローティングゲートMOS型メモリの可能性評価

辻本 耕平, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成30年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2018年12月8日) [OKI-2018-44].  (琉球大学)  2018年12月  -  2018年12月