研究発表等の成果普及活動 - 岡田　竜弥

Proposal of a-Si film Photo-Sensors Integrating with Poly-Si TFT System on Flexible Polymer

T. Higashizako, C. J. Koswaththage, T. Okada, T. Noguchi, T. Morimura, O. Nishikata, and A. Ota

Proc. of the 24th International Display Workshops (Sendai International Center, December 6-8, 2017) pp.1577-1579 [FLXp1-11L].  2017年12月  -  2017年12月   

High Mobility InSb Film with Poly-Si TFTs Formed by Laser Annealing for Flexible Advanced System on Polymer

C. J. Koswaththage, T. Harada, F. Gakiya, T. Higashizako, Y. Ishiki, T. Okada, and T. Noguchi

Proc. of the 24th International Display Workshops (Sendai International Center, December 6-8, 2017) pp.1515-1517 [FLX3-4L].  2017年12月  -  2017年12月   

ELA結晶化中のポリイミド基板上a-Si膜の温度解析

岡田 竜弥, 我喜屋 風太, 伊敷 優哉, 野口 隆

第78回応用物理学会秋季学術講演会 (福岡国際会議場, 2017年9月5-8日) p.12_241 [7a-C21-8].  2017年09月  -  2017年09月   

青色半導体レーザを照射したInSb膜の電気的特性

コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ, 東迫 達行, 岡田 竜弥, 野口 隆

第78回応用物理学会秋季学術講演会 (福岡国際会議場, 2017年9月5-8日) p.13_080 [5p-C21-11].  2017年09月  -  2017年09月   

Thermal Calculation of a-Si Films on Polyimide during Excimer Laser Annealing

T. Okada, F. Gakiya, Y. Ishiki, and T. Noguchi

The 17th International Meeting on Information Display (BEXCO, Busan, Korea, August 28-31, 2017) [P2-55].  2017年08月  -  2017年08月   

Dependence of Poly-Si TFT Performance on Scanning Direction of BLDA (Blue Laser Diode Annealing)

Y. Ishiki, F. Gakiya, T. Okada, and T. Noguchi

The 17th International Meeting on Information Display (BEXCO, Busan, Korea, August 28-31, 2017) [D28-4].  2017年08月  -  2017年08月   

Sputtered InSb film after RTA for Magnetic Sensor Applications

C. J. Koswaththage, T. Higashizako, T. Okada, and T. Noguchi

The 17th International Meeting on Information Display (BEXCO, Busan, Korea, August 28-31, 2017) [D36-4].  2017年08月  -  2017年08月   

Effective annealing for Si film and for junction formation

T. Noguchi, T. Okada, and Y. Chen

2017 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Gyeongju, Korea, July 3-5, 2017) [2B-2].  2017年07月  -  2017年07月   

ELA結晶化Si膜によるフレキシブル基板上のメタルソース・ドレイン構造TFT

原田 大成, 我喜屋 風太, 伊敷 優哉, 岡田 竜弥, 野口 隆, 野田 勘治, 諏訪 輝, 池上 浩

第64回応用物理学会春季学術講演会 (パシフィコ横浜, 2017年3月14-17日) p.12_004 [14a-304-4].  2017年03月  -  2017年03月   

Low Temperature Crystallization of Si films for TFTs by Laser Annealing on Flexible Panels

Takashi Noguchi, and Tatsuya Okada

13th International Thin-Film Transistor Conference (Austin, Tx, USA, February 23-24, 2017) p.15.  2017年02月  -  2017年02月   

Ultra-high Carrier Mobility InSb Film by Rapid Thermal Annealing for Advanced Sensor Applications on Glass

Charith Jayanada Koswaththage, Tatsuya Okada, Shinichi Taniguchi, Shokichi Yoshitome, and Takashi Noguchi

13th International Thin-Film Transistor Conference (Austin, Tx, USA, February 23-24, 2017) pp.31-32.  2017年02月  -  2017年02月   

BLDAを照射したSi薄膜の電極形成前後におけるH2アニールの効果

東迫 達行, コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成28年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2016年12月11日) [OKI-2016-46].  2016年12月  -  2016年12月   

急速熱アニールを行ったGe薄膜の結晶性・電気的特性の評価

太田 信長, コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ, 東迫 達行, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成28年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2016年12月11日) [OKI-2016-48].  2016年12月  -  2016年12月   

Poly-Si TFT特性のBLDA(Blue-Multi-Laser-Diode-Annealing)走査方向依存性

伊敷 優哉, 我喜屋 風太, 原田 大成, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成28年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2016年12月11日) [OKI-2016-47].  2016年12月  -  2016年12月   

Effect of Hydrogen Annealing of Si TFTs with Metal Source/Drain formed using BLDA

T. Harada, T. Ashitomi, T. Okada, T. Noguchi, O. Nishikata, A. Ota, and K. Saito

Proc. of the 23rd International Display Workshops (Fukuoka, December 7-9, 2016) pp.433-435 [AMDp2-7].  2016年12月  -  2016年12月   

Effect of Low-temperature Annealing of Sputtered SiO2 for Gate Insulator in Poly-Si TFTs on Panel

H. Tamashiro, K. Imura, T. Okada, T. Noguchi

Proc. of the 23rd International Display Workshops (Fukuoka, December 7-9, 2016) pp.448-449 [AMDp2-13L].  2016年12月  -  2016年12月   

Ultra-low temperature Si TFTs with metal source-drain using ELA for flexible sheet

T. Harada, F. Gakiya, Y. Ishiki, T. Okada, T. Noguchi, K. Noda, A. Suwa, H. Ikenoue

Proc. of the 23rd International Display Workshops (Fukuoka, December 7-9, 2016) pp.444-445 [AMDp2-11L].  2016年12月  -  2016年12月   

青色半導体レーザアニールを用いたSi膜の結晶化

岡田 竜弥, 野口 隆

第77回応用物理学会秋季学術講演会 (朱鷺メッセ, 2016年9月13-16日) p.100000001_119 [14p-B7-5].  2016年09月  -  2016年09月   

ＥＬＡ（エキシマレーザアニール）による接合型Ｓｉ太陽電池の表面反射防止膜による特性の向上

鈴木 仁, 楊 天熙, 岡田 竜弥，野口 隆, 河本 直哉

第77回応用物理学会秋季学術講演会 (朱鷺メッセ, 2016年9月13-16日) p.12_210 [15a-B10-8].  2016年09月  -  2016年09月   

Calculation of Temperature Distribution in Si Films on Polyimide during Blue Multi-Laser Diode Annealing

T. Okada, Y. Shizu, and T. Noguchi

The 16th International Meeting on Information Display (Jeju, Korea, August 23-26, 2016)  2016年08月  -  2016年08月