研究発表等の成果普及活動 - 岡田 竜弥
-
TFTのゲート酸化膜応用をめざしたスパッタ製膜SiO2の低温アニール前後の電気的特性評価
玉城 光, 井村 公彦, 岡田 竜弥, 野口 隆
平成26年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2014年11月29日) 2014年11月 - 2014年11月
-
透明導電膜付きポリカーボネート基板上における多結晶シリコン薄膜の結晶成長
河本 直哉, 只友 一行, 野口 隆, 岡田 竜弥
第75回応用物理学会秋季学術講演会 (北海道大学, 2014年9月17-20日) 2014年09月 - 2014年09月
-
ブルーレーザダイオードアニール法によるSiの低温結晶化とデバイス応用
野口 隆, 岡田 竜弥
第75回応用物理学会秋季学術講演会 (北海道大学, 2014年9月17-20日) 2014年09月 - 2014年09月
-
O2混合Arスパッタにより成膜した高耐圧SiO2膜の電気特性評価
岡田 竜弥，井村 公彦，野口 隆
第75回応用物理学会秋季学術講演会 (北海道大学, 2014年9月17-20日) 2014年09月 - 2014年09月
-
High Quality SiO2 Films Deposited by RF Sputtering at Room Temperature for TFTs
K. Imura, T. Okada, and T. Noguchi
IUMRS International Conference in Asia 2014 (Fukuoka University, August 24-30, 2014) 2014年08月 - 2014年08月
-
High Mobility Poly-Si TFTs using BLDA for Low-Cost Process
Takuya Ashitomi, Kouya Sugihara, Kiyoharu Shimoda, Tatsuya Okada, Takashi Noguchi, Takahiro Miyashita, Yutaka Kusuda, and Shin-ichi Motoyama
The 14th International Meeting on Information Display (Daegu, Korea, August 26-29, 2014) 2014年08月 - 2014年08月
-
Poly Si TFTs formed by low temperature process using BLDA
T. Noguchi, K. Sugihara, K. Shimoda, T. Gushiken, T. Okada, E. Jaques, H. Don, T. Mohammed-Brahim
The 14th International Meeting on Information Display (Daegu, Korea, August 26-29, 2014) 2014年08月 - 2014年08月
-
Electrical Characterization of SiO2 Films Deposited by RF Sputtering Using O2/Ar Mixture
Kimihiko Imura, Tatsuya Okada, Kiyoharu Shimoda, Kouya Sugihara, Takashi Noguchi, and Byung Seong Bae
The 14th International Meeting on Information Display (Daegu, Korea, August 26-29, 2014) 2014年08月 - 2014年08月
-
Remarkable Increase in Photoconductivity of Patterned Poly-Si Thin Films by BLDA for System on Glass
Kota Nakao, Charith Jayanada Koswaththage, Tatsuya Okada, Takashi Noguchi
The 14th International Meeting on Information Display (Daegu, Korea, August 26-29, 2014) 2014年08月 - 2014年08月
-
Advanced Low-Temperature Poly Si TFTs without Impurity Doping using BLDA (Blue Multi-Laser Diode Annealing)
Kouya SUGIHARA, Kiyoharu SHIMODA, Kimihiko IMURA, Takuya ASHITOMI, Charith Jayanada KOSWATHTHAGE, Tatsuya OKADA and Takashi NOGUCHI
2014 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Kanazawa, July 1-3, 2014) 2014年07月 - 2014年07月
-
Temperature Analysis of Si Films during Blue Multi-Laser Diode Annealing
Tatsuya Okada, Takayuki Oda, and Takashi Noguchi
2014 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Kanazawa, July 1-3, 2014) 2014年07月 - 2014年07月
-
ブルーレーザーアニール法による高移動度poly-Si TFTの作製
杉原 弘也，下田 清治，岡田 竜弥，野口 隆, 宮下 準弘, 楠田 豊, 本山 真一
第61回応用物理学会春季学術講演会 (青山学院大学, 2014年3月17-20日) 2014年03月 - 2014年03月
-
青色半導体レーザ照射中Si膜の温度分布解析
岡田 竜弥, 小田 貴之, 上原 実結, 野口 隆
第61回応用物理学会春季学術講演会 (青山学院大学, 2014年3月17-20日) 2014年03月 - 2014年03月
-
Advanced Crystallization of Si Films on Panel using Blue Laser-Diode
Takashi NOGUCHI, Kiyoharu SHIMODA, Kouya SUGIHARA, Charith Jayanada KOSWATHTHAGE, Satoshi CHINEN and Tatsuya OKADA
10th International Thin-Film Transistor Conference (Delft, The Netherlands, January 23-24, 2014) 2014年01月 - 2014年01月
-
Effect of H2 Annealing after BLDA for Low-Cost Poly Si TFT
Kouya Sugihara, Kiyoharu Shimoda, Tatsuya Okada and Takashi Noguchi
The International Display Workshop (Kyoto, December 3-6, 2013) 2013年12月 - 2013年12月
-
イオン注入したa-Si膜のSPC前後における結晶性・電気的特性の評価
若杉 智英, 岡田 竜弥, 青笹 浩, 野口 隆, 伊藤 丈二
平成25年 電気学会 九州支部沖縄所講演年電気学会 (琉球大学, 2013年12月7日) 2013年12月 - 2013年12月
-
2ステップ熱アニールを施したpoly-Siフォトセンサの作製
中尾 浩太, 知念 怜, Koswaththage Charith Jayanada, 岡田 竜弥, 野口 隆
平成25年 電気学会 九州支部沖縄所講演年電気学会 (琉球大学, 2013年12月7日) 2013年12月 - 2013年12月
-
水素アニールによるボトムゲート型poly-Si TFT特性の向上
安次富 卓哉, 杉原 弘也, 下田 清治, 岡田 竜弥, 野口 隆
平成25年 電気学会 九州支部沖縄所講演年電気学会 (琉球大学, 2013年12月7日) 2013年12月 - 2013年12月
-
超低温プロセスによるpoly-Si TFTの作製と評価
下田 清治, 杉原 弘也, 岡田 竜弥, 野口 隆
平成25年 電気学会 九州支部沖縄所講演年電気学会 (琉球大学, 2013年12月7日) 2013年12月 - 2013年12月
-
a-Si:H薄膜太陽電池の最適膜厚の検討
Kim JinKuk, 新垣 喬之, 具志堅 貴也, 魏 煌, 岡田 竜弥, 野口 隆
平成25年 電気学会 九州支部沖縄所講演年電気学会 (琉球大学, 2013年12月7日) 2013年12月 - 2013年12月