研究発表等の成果普及活動 - 岡田　竜弥

Crystallization of amorphous silicon films on flexible glass by Blue-Multi-Diode-Laser Annealing as a new LTPS

T. Noguchi, T. Nishinohara, J. D. Mugiraneza, K. Shirai, T. Okada, T. Itoh

Information Display's Display Week 2012 (Boston, Massachusetts USA, June 3-8, 2012)  2012年06月  -  2012年06月   

Characterization of Sputtered Poly-Silicon films by Using Blue-Multi-Laser-Diode Annealing for High Performance Display

J. D. Mugiraneza, K. Shirai, T. Okada, T. Nishinohara, K. Yagi, and T. Noguchi

第59回応用物理学関係連合講演会 (早稲田大学, 2012年3月15-18日)  2012年03月  -  2012年03月   

BLDAによるSi薄膜の活性化率向上と低抵抗化

野口 隆, 岡田 竜弥, 白井 克弥, ムギラネーザ ジャン ディユ, 井上 和久, 山田 一雄, 長谷川 正仁

第59回応用物理学関係連合講演会 (早稲田大学, 2012年3月15-18日)  2012年03月  -  2012年03月   

熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理におけるガラス基板の非接触温度測定及びクラック発生条件の解明

田中 敬介, 岡田 竜弥, 林 将平, 芦原 龍平, 東 清一郎

第59回応用物理学関係連合講演会 (早稲田大学, 2012年3月15-18日)  2012年03月  -  2012年03月   

ブルーレーザアニール法によるフレキシブルガラス基板上のアモルファスSi薄膜の結晶化

白井 克弥, J. D. Mugiraneza, 岡田 竜弥, 野口 隆, 伊藤 丈二

第59回応用物理学関係連合講演会 (早稲田大学, 2012年3月15-18日)  2012年03月  -  2012年03月   

スパッタ製膜したa-Si膜のブルーレーザアニール法による平坦な結晶化

岡田 竜弥, J. D. Mugiraneza, 白井 克弥, 西ノ原 拓磨, 向 智之, 屋冝 佳佑, 野口 隆, 井上 和久, 山田 一雄, 長谷川 正仁

第59回応用物理学関係連合講演会 (早稲田大学, 2012年3月15-18日)  2012年03月  -  2012年03月   

Effective activation of the sputtered P-doped-Si film for high performance poly-Si TFT

T. Nishinohara, J. D. Mugiraneza, K. Shirai, T. Suzuki, T. Okada, T. Noguchi, T. Ohachi, H. Matsushima, T. Hashimoto, Y. Ogino, E. Sahota

The 18th International Display Workshop (Nagoya, December 7-9, 2011)  2011年12月  -  2011年12月   

Development of Noncontact Measurement of SiC Wafer Temperature during Millisecond Rapid Annealing Induced by Atmospheric Pressure Thermal Plasma Jet Irradiation

R. Ashihara, T. Okada, Y. Nishida and S. Higashi

33rd International Symposium on Dry Process (November 10-11, 2011, Kyoto)  2011年11月  -  2011年11月   

Crystallization of 20-nm-thick Si Films Deposited by RF Sputtering Using Blue-Multi-Laser-Diode Annealing

T. Okada, J. D. Mugiraneza, K. Shirai, T. Suzuki, T. Noguchi, H. Matsushima, T. Hashimoto, Y. Ogino and E. Sahota

15th International Conference on Thin Film 2011 (Kyoto, November 8-11, 2011)  2011年11月  -  2011年11月   

Electrical Characterization of SiN Films Deposited by Reactive RF Sputtering

K. Yagi, T. Okada and T. Noguchi

15th International Conference on Thin Film 2011 (Kyoto, November 8-11, 2011)  2011年11月  -  2011年11月   

急速熱処理中の基板内熱応力解析

岡田 竜弥, 田中 敬介, 酒池 耕平, 野口 隆, 東 清一郎

第72回応用物理学会学術講演会 (山形大学, 2011年8月29-9月1日)  2011年08月  -  2011年08月   

大気圧熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理におけるSiCウェハの非接触温度測定技術の開発

芦原 龍平, 岡田 竜弥, 西田 悠亮, 東 清一郎

第72回応用物理学会学術講演会 (山形大学, 2011年8月29-9月1日)  2011年08月  -  2011年08月   

Crystallization of Si thin film on flexible plastic substrate by using Blue Multi-Laser Diode Annealing

J. D. Mugiraneza, K. Shirai, T. Suzuki, T. Okada, T. Noguchi, H. Matsushima, T. Hashimoto, Y. Ogino, E. Sahota

The eighteenth International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices (Kyoto, July 11-13, 2011)  2011年07月  -  2011年07月   

Proposal of High Conversion Efficiency Thin-Film Si Solar Cell

Y. Chen, J. D. Mugiraneza, K. Shirai, T. Okada, T. Noguchi and T. Ohachi

2011 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Daejeon, Korea, June 29 - July 1)  2011年06月  -  2011年06月   

Thickness dependence on Crystallization of Si Thin Films by Blue-Multi-Laser-Diode Annealing

T. Okada, J. D. Mugiraneza, K. Shirai, T. Suzuki, T. Noguchi, H. Matsushima, T. Hashimoto, Y. Ogino, and E. Sahota

7th International Thin-Film Transistor Conference 2011 (Cambridge, UK, March 3-4, 2011)  2011年03月  -  2011年03月   

リモート水素プラズマ処理によるPt/a-Ge:H の合金化反応制御

牧原 克典, 森澤 直也, 藤岡 知宏, 松本 竜弥, 林 将平, 岡田 竜弥, 池田 弥央, 東 清一郎, 宮崎 誠一

第58回応用物理学関係連合講演会 (神奈川工科大学, 2011年3月24-27日)  2011年03月  -  2011年03月   

青色半導体レーザアニールによるPoly-Si薄膜の結晶粒径制御

松島 英紀, 橋本 隆夫, 荻野 義明, 佐保田 英司, J.D. Mugiraneza, 白井 克弥, 鈴木 俊治, 岡田 竜弥, 野口 隆

第58回応用物理学関係連合講演会 (神奈川工科大学, 2011年3月24-27日)  2011年03月  -  2011年03月   

次世代Si薄膜アニール技術としてのBLDA

野口 隆, MUGIRANEZA J.D., 岡田 竜弥, 白井 克弥, 鈴木 俊治, 松島 英紀, 橋本 隆夫, 荻野 義明, 佐保田 英司

第58回応用物理学関係連合講演会 (神奈川工科大学, 2011年3月24-27日)  2011年03月  -  2011年03月   

スパッタ製膜した20 nm厚Si膜のブルーレーザアニールによる結晶化

岡田 竜弥, Mugiraneza J.D., 白井 克弥, 鈴木 俊治, 野口 隆, 松島 英紀, 橋本 隆夫, 荻野 義明, 佐保田 英司

第58回応用物理学関係連合講演会 (神奈川工科大学, 2011年3月24-27日)  2011年03月  -  2011年03月   

Efficient Activation of Impurity in Sputtered Si Films after Blue-Laser-Diode Annealing (BLDA)

T. Noguchi, J. D. Mugiraneza, K. Shirai, T. Suzuki, T. Okada, H. Matsushima, T. Hashimoto, Y. Ogino, and E. Sahota

7th International Thin-Film Transistor Conference 2011 (Cambridge, UK, March 3-4, 2011)  2011年03月  -  2011年03月