研究発表等の成果普及活動 - 岡田　竜弥

ブルーレーザダイオードアニール(BLDA)法による結晶化Si膜を用いたタンデム構造薄膜太陽電池の提案

新垣 喬之，具志堅 貴也，岡田 竜弥，野口 隆

第74回応用物理学会秋季学術講演会 (同志社大学, 2013年9月16-20日)  2013年09月  -  2013年09月   

2ステップRTA(高温短時間アニール)によるリンドープSi薄膜の低抵抗化

若杉 智英，知念 怜，岡田 竜弥，青笹 浩，野口 隆，伊藤 丈二

第74回応用物理学会秋季学術講演会 (同志社大学, 2013年9月16-20日)  2013年09月  -  2013年09月   

O2混合Arスパッタにより成膜したSiO2膜の電気特性評価

井村 公彦，岡田 竜弥, 下田 清治，杉原 弘也，野口 隆

第74回応用物理学会秋季学術講演会 (同志社大学, 2013年9月16-20日)  2013年09月  -  2013年09月   

Fabrication of µ-poly Si TFTs with ultra-low temperature at 120ºC using BLDA

K. Shimoda, K. Sugihara, T. Okada, and T. Noguchi

The 13th International Meeting on Information Display (Daegu, Korea, August 26-29, 2013)  2013年08月  -  2013年08月   

Thin Film Photo-Sensor by BLDA to Realize System on Panel

Charith Jayanada Koswaththage, Satoshi Chinen, Kouya Sugihara, Tatsuya Okada and Takashi Noguchi

International Workshop on Active-Matrix Liquid-Crystal Displays and Devices (Kyoto, July 4-7, 2013)  2013年07月  -  2013年07月   

Possibilities of Blue Laser-Diode Annealing as a New LTPS

T. Noguchi, and T. Okada

International Workshop on Active-Matrix Liquid-Crystal Displays and Devices (Kyoto, July 4-7, 2013)  2013年07月  -  2013年07月   

Laser Crystallization of Si Films and the Applications

Takashi Noguchi and Tatsuya Okada

2013 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Seoul, Korea, June 26-28, 2013)  2013年06月  -  2013年06月   

Ultra-low Resistance of Phosphorus Doped Si Films Activated by Blue Laser Diode Annealing (BLDA)

Takashi Noguchi, Takuma Nishinohara, Katsuya Shirai, and Tatsuya Okada

2013 MRS Spring Meeting (April 1-5, 2013, San Francisco, California)  2013年04月  -  2013年04月   

Advanced Si Photo-Sensor in TFT System for FPD by BLDA

Satoshi Chinen, Charith Jayanada Koswaththage, Kouya Sugihara, Tatsuya Okada, Takashi Noguchi, ChangMin Keum, ByungSeong Bae, and Tadashi Ohachi

The 9th International Thin-Film Transistor Conference (Tokyo, March 1-2, 2013)  2013年03月  -  2013年03月   

反応性スパッタ製膜したSiNx膜の電気特性評価

岡田 竜弥, 屋冝 佳佑, 井村 公彦, 野口 隆

第60回応用物理学会春季学術講演会 (神奈川工科大学, 2013年3月27-30日)  2013年03月  -  2013年03月   

ブルーレーザアニールを施したリンドープSi膜における電気伝導率の温度依存性

西ノ原 拓磨, 知念 怜, 岡田 竜弥, 野口 隆

第60回応用物理学会春季学術講演会 (神奈川工科大学, 2013年3月27-30日)  2013年03月  -  2013年03月   

ブルーレーザアニールによるSi 膜中のスパッタリングガスの挙動

西ノ原 拓磨, 知念 怜, 岡田 竜弥, 野口 隆

第60回応用物理学会春季学術講演会 (神奈川工科大学, 2013年3月27-30日)  2013年03月  -  2013年03月   

Smoothness of Crystallized Si Films on Flexible Glass Using Blue-Multi-Laser-Diode-Annealing

Tatsuya Okada, Takuma Nishinohara, Keisuke Yagi, Takashi Noguchi, and Taketsugu Itoh

The 9th International Thin-Film Transistor Conference (Tokyo, March 1-2, 2013)  2013年03月  -  2013年03月   

Proposal of µ-Poly Si Film Structure with High Photo-Sensitive PIN-Diode for Advanced FPD

Kouya Sugihara, Satoshi Chinen, Haruya Goga, Katsuya Shirai, Tatsuya Okada and Takashi Noguchi

The International Display Workshop (Kyoto, December 4-7, 2012)  2012年12月  -  2012年12月   

Characterization of Nitrogen-Excess SiNx Films Deposited by Surface Wave Plasma Chemical Vapor Deposition

Keisuke Yagi, Tatsuya Okada, Takashi Noguchi and Kazufumi Azuma

The International Display Workshop (Kyoto, December 4-7, 2012)  2012年12月  -  2012年12月   

Proposal of μ-Poly Si TFT for Advanced FPD with High Photo-Sensitive PIN-Diode by BLDA

T. Mukae, K. Sugihara, T. Sugihara, K. Shirai, T. Okada, T. Noguchi, and T. Ohachi

The 12th International Meeting on Information Display (Eaegu, Korea, August 28-31, 2012)  2012年08月  -  2012年08月   

Uniform Micro Poly-Si Grains in Smooth Films with (111) Preferred Orientation by Blue-Multi-Laser-Diode Annealing (BLDA)

K. Shirai, J. D. Mugiraneza, T. Okada, T. Suzuki, and T. Noguchi

The 12th International Meeting on Information Display (Eaegu, Korea, August 28-31, 2012)  2012年08月  -  2012年08月   

Crystallization of a-Si Films with Smooth Surface Using Blue-Multi-Laser-Diode-Annealing

T. Okada, J. D. Mugiraneza, K. Shirai, T. Nishinohara, T. Mukae, K. Yagi, and T. Noguchi

2012 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (June 27-29, 2012, Naha)  2012年07月  -  2012年07月   

Effective Annealing of Si Films as an advanced LTPS

T. Noguchi, T. Nishinohara, J. D. Mugiraneza, K. Shirai, and T. Okada

2012 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (June 27-29, 2012, Naha)  2012年07月  -  2012年07月   

Characterization of Optimized Sputtered Poly-Si Films by Blue-Multi-Laser-Diode Annealing for High Performance Displays

T. Nishinohara, J. D. Mugiraneza, K. Shirai, T. Okada, and T. Noguchi

2012 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (June 27-29, 2012, Naha)  2012年07月  -  2012年07月