研究発表等の成果普及活動 - 岡田　竜弥

RFスパッタ法を用いて室温製膜したSiO2膜のH2アニール効果

井村 公彦, 岡田 竜弥, 玉城 光, 野口 隆

第76回応用物理学会秋季学術講演会 (名古屋国際会議場, 2015年9月13-16日)  2015年09月  -  2015年09月   

アニールによるpn接合太陽電池の形成

魏 煌, 楊 天熙, 新垣 喬之, 岡田 竜弥, 野口 隆, 河本 直哉

第76回応用物理学会秋季学術講演会 (名古屋国際会議場, 2015年9月13-16日)  2015年09月  -  2015年09月   

Increase in Photoconductivity of Silicon Films after BLDA by Back-Reflection Ti Layer for System on Glass

Kota Nakao, Charith Jayanada Koswaththage, Tatsuya Okada and Takashi Noguchi

The 15th International Meeting on Information Display (Daegu, Korea, August 18-21, 2015)  2015年08月  -  2015年08月   

New Laser Crystallization for LTPS on Panel

Takashi NOGUCHI, Takuya ASHITOMI, Kiyoharu SHIMODA, Kimihiko IMURA, Kota NAKAO, Charith J. KOSWATHTHAGE and Tatsuya OKADA

The 15th International Meeting on Information Display (Daegu, Korea, August 18-21, 2015)  2015年08月  -  2015年08月   

Effect of Low Temperature Annealing of Sputtered SiO2 for Gate Insulator in Poly-Si TFTs

Hikaru Tamashiro, Kimihiko Imura, Tatsuya Okada, and Takashi Noguchi

The 15th International Meeting on Information Display (Daegu, Korea, August 18-21, 2015)  2015年08月  -  2015年08月   

Reduction of leakage current of poly-Si TFTs with metal source/drain by dual gate structure

Taisei Harada, Takuya Ashitomi, Kiyoharu Shimoda, Wataru Narisoko, Tatsuya Okada and Takashi Noguchi, Osamu Nishikata, Atsushi Ota and Kazuya Saito, Sang-Yun Kim, Jin-Kuk Kim and Byung Seong Bae

The 15th International Meeting on Information Display (Daegu, Korea, August 18-21, 2015)  2015年08月  -  2015年08月   

Study on hydrogenation after BLDA in Si TFT with Metal source/drain

K. Shimoda, T. Ashitomi, T. Okada, T. Noguchi, O. Nishikata and A. Ota

International Workshop on Active-Matrix Liquid-Crystal Displays (Kyoto, July 1-3, 2015)  2015年07月  -  2015年07月   

A New Application of Laser Annealing Process in Low-Voltage Power MOSFETs

Yi Chen, Tatsuya Okada, Takashi Noguchi, Fulvio MAZZAMUTO, and Karim HUET

2015 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Jeju, Korea, June 29 - July 1, 2015)  2015年06月  -  2015年06月   

Remarkable Increase in Conductivity of Phosphorus Doped Si Films by Laser Crystallization

T. Noguchi, and T. Okada

2015 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Jeju, Korea, June 29 - July 1, 2015)  2015年06月  -  2015年06月   

Ne雰囲気スパッタSi膜(500 nm厚)への青色レーザによる結晶化

具志堅 貴也, 若杉 智英, 岡田 竜弥, 野口 隆, 河本 直哉

第62回応用物理学会春季学術講演会 (東海大学, 2015年3月11-14日)  2015年03月  -  2015年03月   

青色半導体レーザアニール中のSi膜内光吸収量解析

岡田 竜弥, 神村 盛太, 野口 隆

第62回応用物理学会春季学術講演会 (東海大学, 2015年3月11-14日)  2015年03月  -  2015年03月   

脱水素無しのアモルファスSi薄膜に対するBLDA低抵抗化

若杉 智英, 安次富 卓哉, 岡田 竜弥, 野口 隆, 西方 靖, 太田 淳, 井上 和久, 山田 一雄

第62回応用物理学会春季学術講演会 (東海大学, 2015年3月11-14日)  2015年03月  -  2015年03月   

パネル上高感度フォトセンサ応用へのBLDAによる多層膜構造Si膜の結晶性向上

中尾 浩太, コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ, 若杉 智英, 岡田 竜弥, 野口 隆

第62回応用物理学会春季学術講演会 (東海大学, 2015年3月11-14日)  2015年03月  -  2015年03月   

Highly Photoconductive Si film Formed by Blue-Multi Laser Diode Annealing for System on Panel

C. J. Koswaththage, K. Nakao, T. Okada, and T. Noguchi

11th International Thin-Film Transistor Conference (Rennes, France, February 26-27, 2015)  2015年02月  -  2015年02月   

Low-Cost LTPS Using Blue Laser Diode Annealing

T. Noguchi, K. Shimoda, T. Ashitomi, K. Nakao, C. J. Koswaththage, and T. Okada

11th International Thin-Film Transistor Conference (Rennes, France, February 26-27, 2015)  2015年02月  -  2015年02月   

Temperature Analysis of Si Films during Blue Multi-Laser Diode Annealing

T. Okada, S. Kamimura, and T. Noguchi

11th International Thin-Film Transistor Conference (Rennes, France, February 26-27, 2015)  2015年02月  -  2015年02月   

Energy Efficiency of Laser on Crystallization Technologies for LTPS

T. Itoh, T. Okada, and T. Noguchi

11th International Thin-Film Transistor Conference (Rennes, France, February 26-27, 2015)  2015年02月  -  2015年02月   

単結晶薄膜Si太陽電池の計算シミュレーション

具志堅 貴也, 加島 陽, 伊芸 大輔, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成26年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2014年11月29日)  2014年11月  -  2014年11月   

微細化したSi膜のBLDA(Blue Laser Diode Annealing)による電気特性の向上

コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ, 中尾 浩太, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成26年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2014年11月29日)  2014年11月  -  2014年11月   

ガラス基板上a-Si膜に対するBLDA加熱温度解析

神村 盛太, 岡田 竜弥, 野口 隆

平成26年度 電気学会九州支部沖縄支所講演会 (琉球大学, 2014年11月29日)  2014年11月  -  2014年11月